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当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。(在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使有毒有害物质转变成无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。)然后部分有机废气再通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无害无味气体。采用C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。O3强催化氧化剂进行废气催化氧化,可杀灭细菌，将有毒有害物质破坏且改变成为低分子无害物质。在C波段激光刺激催化剂涂层产生活性，强化催化氧化作用。在分解过程中产生高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有 强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有 强的效果。O3也为强催化氧化剂进行废气催化氧化,裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀的目的。
等离子光氧一体机使用注意事项：
一、设备左侧为进风口方向，废气的温度控制在70度以下左右。因为温度太高会影响净化效果和设备使用寿命。等离子光氧一体机净化器应安装在风机前面，净化器前端应该有水喷淋降解有机废气中的大型颗粒，以保证净化器内部洁净度和使用年限和延长维护时间。
1.严禁在通电的情况下打开净化器前门及电控箱。
2.设备内不得进入粉尘及水雾，会造成设备超负荷断电。定期换进风口过滤板。
3.模块定期清理，水洗即可，如有油渍粘性污染物，可在水中加入火碱，然后擦净晒干。
二、防火防爆措施
为保证不发生放电从而出现火星的风险，应当将过滤器放置在室外。同时采用不会产生火花的主机结构形式，在干净空气区域由前置降温措施+物理过滤阻挡油性的介质+中校过滤网+等离子净化器+风机。
三.电气系统维护
1.定期清扫电器柜内的积灰异物。
2.及时修或换即将损坏的电器元件。
3.整理内部接线，使之整齐合理，特别是在平时应急修理处，应尽量复原成正规状态。
4.定期紧固熔断器的可动部分，使之接触良好。
5.定期紧固接线端子和电器元件上的压线螺钉，使所有压接线头牢固可靠，以减小接触电阻。
四.操作、维护保养注意事项
1.用户应定期检查、保养设备；
2.每隔6个月或视用户现状而定，定期清理粉（灰）尘一次，打开设备电源箱对高压模块表面清洁粉尘，然后安装复原；
3.在进行维护保养时，严禁带电操作；
4. 用户应指定专人进行产品的维护保养，维护保养按本公司说明书进行。